六维力传感器集成应变计

摘要

六维力传感器集成应变计，它涉及一种多维力传感器应变计。本发明解决了已有多维力传感器，需要将每片应变片一一粘贴在圆柱形弹性体上，存在粘贴繁琐、应变一致性及粘贴精度难以保证、引线数量多问题。它包括基底(7)和固定在基底(7)上的应变片(24)；应变片(24)由三组90°模式双栅和三组剪切模式双栅并列交替排列组成，每组90°模式双栅和每组剪切模式双栅分别构成一个半桥测量电路，每个半桥测量电路分别具有一个信号输出端，每个半桥测量电路的正极端之间彼此连接后与电源(22)相连接，每个半桥测量电路的负极端之间彼此连接后接地(23)。本发明具有粘贴方便、测量精度高、引出线少的优点，可一次粘贴在圆柱形弹性体上。

主权项

权利要求书1、一种六维力传感器集成应变计，它包括片状的基底(7)和固定在片状的基底(7)上表面的应变片(24)；其特征在于所述的应变片(24)由三组90°模式双栅和三组剪切模式双栅并列放置交替排列组成，每组90°模式双栅和每组剪切模式双栅分别构成一个半桥测量电路，三组90°模式双栅分别构成第一半桥测量电路、第三半桥测量电路及第五半桥测量电路，三组剪切模式双栅分别构成第二半桥测量电路、第四半桥测量电路和第六半桥测量电路，第一半桥测量电路中的第一水平敏感栅(8)的正极端与第一垂直敏感栅(9)的负极端串联后的接头为第一信号输出端(1)，第二半桥测量电路中的第一45°敏感栅的正极端(10)与第二45°敏感栅(11)的负极端串联后的接头为第二信号输出端(2)，第三半桥测量电路中的第二水平敏感栅(12)的正极端与第二垂直敏感栅(13)的负极端串联后的接头为第三信号输出端(3)，第四半桥测量电路中的第三45°敏感栅(14)的正极端与第四45°敏感栅(15)的负极端串联后的接头为第四信号输出端(4)，第五半桥测量电路中的第三水平敏感栅(16)的正极端与第三垂直敏感栅(17)的负极端串联后的接头为第五信号输出端(5)，第六半桥测量电路中的第五45°敏感栅(18)的正极端与第六45°敏感栅(19)的负极端串联后的接头为第六信号输出端(6)，第一垂直敏感栅(9)的正极端分别与第二45°敏感栅(11)的正极端、第二垂直敏感栅(13)的正极端、第四45°敏感栅(15)的正极端、第三垂直敏感栅(17)的正极端及第六45°敏感栅(19)的正极端连接后与电源(22)相连接，第一水平敏感栅(8)的负极端分别与第一45°敏感栅(10)的负极端、第二水平敏感栅(12)的负极端、第三45°敏感栅(14)的负极端、第三水平敏感栅(16)的负极端及第五45°敏感栅(18)的负极端连接后接地(23)。