| 发明名称 |
Apparatus for calibrating temperature measurements and measuring currents |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1067371(B1) |
申请公布日期 |
2007.10.17 |
| 申请号 |
EP20000114668 |
申请日期 |
2000.07.07 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
BLAU,DAVID;JADUSHLEVER,ELIA |
| 分类号 |
G01J5/00;G01J1/18;G01J5/02;G01J5/10;G01J5/16;G01J5/52;H01L21/26;H01L21/66 |
主分类号 |
G01J5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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