等离子加工方法和设备及用于等离子加工的托架

摘要

提供一种等离子加工方法和设备及等离子加工托架，其能够提高基底的温度可控制能力。如果真空室由泵抽空同时通过气体供应部件把特定的气体引入真空室，并且通过线圈使用高频电源把高频电力施加于线圈并同时把真空室的内部维持至特定的压力，然后在真空室产生等离子体，而且放在基底电极上的基底能够进行等离子加工。在这时，通过在基底电极和基底之间设有粘合片，能够提高基底的温度可控制能力。

主权项

1.一种等离子加工方法，其包括：抽空真空室的内部并把气体供应至真空室，并在真空室中产生等离子体，同时把真空室内部控制至500Pa或更低的特定压力；和对真空室内基底电极上放置的基底或基底上的薄膜进行处理，同时通过粘合片在基底与基底电极之间进行热交换，所述粘合片放置在基底电极与基底之间。