| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft einen Cantilever (15) eines Rastersondenmikroskops (10) mit einer Rasterspitze (16). Darüber hinaus betrifft die Erfindung ein Rastersondenmikroskop (10), insbesondere Rasterkraftmikroskop (10), sowie ein Verfahren zum Betrieb eines Rastersondenmikroskops (10), insbesondere Rasterkraftmikroskops (10), wobei mit einer auf einem Cantilever (15) angeordneten Rasterspitze (16) eine Probe (12) rasterförmig erfasst wird. Ferner betrifft die Erfindung die Verwendung eines Cantilevers (15). Der Cantilever (15) zeichnet sich dadurch aus, dass der Cantilever (15) aus einem piezoelektrischen Körper (30) besteht und dass der piezoelektrische Körper (30) mit einem ersten Paar elektrischer Kontakte (26, 31, 32, 35, 36) und einem zweiten Paar elektrischer Kontakte (27, 32, 33, 37, 38) versehen ist, wobei der piezoelektrische Körper (30) über das erste Paar elektrischer Kontakte (26, 31, 32, 35, 36) eingangsseitig mit einer ersten elektrischen Größe beaufschlagt ist oder wird und wobei über das zweite Paar elektrischer Kontakte (27, 32, 33, 37, 38) eine charakteristische Eigenschaft des piezoelektrischen Körpers (22) ausgangsseitig mit Hilfe detektierter elektrischer Ströme erfasst ist oder wird.</p> |
