| 发明名称 | 利用阳极氧化浴槽制备有序的阳极氧化铝通孔模板的方法 | ||
| 摘要 | 一种利用阳极氧化浴槽制备有序的阳极氧化铝通孔模板的方法，其特征在于，包含下列步骤：1)取一衬底；2)在衬底上蒸镀金属铝膜；3)将蒸镀有金属铝膜的衬底固定在阳极氧化浴槽装置中；4)蒸镀有金属铝膜的衬底在阳极氧化浴槽中的电解液中阳极氧化；5)再将氧化后的衬底放入磷酸溶液中腐蚀、扩孔，形成有序的阳极氧化铝通孔模板。 | ||
| 申请公布号 | CN101037783A | 申请公布日期 | 2007.09.19 |
| 申请号 | CN200610057490.4 | 申请日期 | 2006.03.17 |
| 申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 周慧英;曲胜春;徐波;张春林;王占国 |
| 分类号 | C25D11/04(2006.01) | 主分类号 | C25D11/04(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汤保平 |
| 主权项 | 1、一种利用阳极氧化浴槽制备有序的阳极氧化铝通孔模板的方法，其特征在于，包含下列步骤：1)取一衬底；2)在衬底上蒸镀金属铝膜；3)将蒸镀有金属铝膜的衬底固定在阳极氧化浴槽装置中；4)蒸镀有金属铝膜的衬底在阳极氧化浴槽中的电解液中阳极氧化；5)再将氧化后的衬底放入磷酸溶液中腐蚀、扩孔，形成有序的阳极氧化铝通孔模板。 | ||
| 地址 | 100083北京市海淀区清华东路甲35号 | ||