发明名称 |
基板的制造方法 |
摘要 |
本发明公开了一种基板的制造方法。该基板制造方法包括:提供一个上下侧具有内层线路的芯板;在芯板处形成一容置空间;在容置空间中埋入一元件,并形成绝缘层以包覆元件、芯板及其上下侧的内层线路;在绝缘层处形成复数个孔洞,以裸露出元件的复数个电极;形成复数个通孔(Through Hole),以贯穿绝缘层与芯板;在绝缘层表面和通孔的侧壁上形成导电薄膜;在导电薄膜上形成导电层;图案化导电层以形成外层线路;以及在外层线路上形成防焊层。 |
申请公布号 |
CN101038880A |
申请公布日期 |
2007.09.19 |
申请号 |
CN200610057443.X |
申请日期 |
2006.03.15 |
申请人 |
日月光半导体制造股份有限公司 |
发明人 |
王永辉;洪清富 |
分类号 |
H01L21/48(2006.01);H01L21/60(2006.01);H05K3/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/48(2006.01) |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 |
代理人 |
梁挥;徐金国 |
主权项 |
1.一种基板的制造方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:提供一芯板(Core),该芯板的上下侧具有一内层线路;在该芯板处形成一容置空间(Receiving Cavity);在该容置空间埋入一元件,并形成一绝缘层以包覆该元件、该芯板及其上下侧的所述内层线路;在该绝缘层处形成复数个孔洞,以裸露出该元件的复数个电极;形成复数个通孔(Through Hole)以贯穿该绝缘层与该芯板;在该绝缘层的表面和所述通孔的侧壁形成一导电薄膜;在该导电薄膜上形成一导电层;图案化该导电层,以形成一外层线路;及在该外层线路上形成一防焊层(Solder Mask)。 |
地址 |
中国台湾高雄市 |