发明名称 真空用充气过压溢流阀
摘要 本发明涉及应用于离子注入机的真空系统过压保护装置,具体为真空用过压溢流阀,当内部压力高于所调定压力时,自动溢流排气,防止由于过压对部分系统元件的破坏或发生压力爆炸,起到保护真空系统安全运行的作用。
申请公布号 CN101038041A 申请公布日期 2007.09.19
申请号 CN200610065120.5 申请日期 2006.03.17
申请人 北京中科信电子装备有限公司 发明人 唐景庭;彭立波;姚琛;钟新华
分类号 F16K17/04(2006.01) 主分类号 F16K17/04(2006.01)
代理机构 北京中海智圣知识产权代理有限公司 代理人 胡静;曾永珠
主权项 1.真空用充气过压溢流阀,其特征在于,由下列部件构成:垫圈(1),KF接口(2),弹簧(3),溢流密封盖板(4),外罩(5),内六角圆柱头螺钉(6),O型密封圈(7)和O型密封圈(8),弹性挡圈(9),卡套接头(10);所述的垫圈(1)是垫在弹性挡圈(9)和弹簧(3)之间,限定和调节弹簧(3);所述的KF接口(2)为阀体的结构接口,外罩(5)通过内六角圆柱头螺钉(6)连接到KF接口(2)上,成一密封腔体,阻止溢流气体直接进入外部环境;所述的O型密封圈(7)密封KF接口(2)和外罩(5)的贴合面;所述的O型密封圈(8)密封KF接口(2)和溢流密封盖板(4)的贴合面;KF接口(2)内有圆孔平台,放置弹簧(3);所述的弹簧(3)套在溢流密封盖板(4)下端长杆外面,上端和KF接口(2)的圆孔平台的平台面接触,下端与垫片1接触;所述的溢流密封盖板(4)在充气过压溢流阀中起着阀芯的作用,靠近下端面处有小圆环槽,卡装弹性挡圈(9),下端长杆中心有溢流通道孔;所述的弹性挡圈(9)卡装在溢流密封盖板(4)的下端长杆下端面处的圆环槽内,挡住垫片(1);所述的卡套接头(10)是快插接头,内插排气管道,卡套接头(10)用锥管螺纹连接到外罩(5)上。
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