| 发明名称 | 一种直写电子/光电子元器件的微细笔 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种直写电子/光电子元器件的微细笔。其结构为：减压装置位于笔帽内，并与位于笔帽顶部的施压气管相连，笔帽的下端与笔筒的上端活动、密封连接构成储料腔，储料腔用于储存需要沉积的物料，笔筒的下端为笔尖。该微细笔通过二个并联的压力控制装置与气源连接，并采用控制器控制两条气路的通断和微细笔相对基板的运动，构成直写装置。微细笔可用于制作电子元器件，还可用于制作光电子元器件，如聚合物光波导。结合该微细笔的结构特点和聚合物材料的特性，可将聚合物材料置于微细笔内，在基板上直写出光波导。本实用新型装置布线速度快，线宽范围大，制造和运行成本低，布线速度范围为2mm/s～15mm/s，线宽范围为0.06mm～2mm。 | ||
| 申请公布号 | CN200950436Y | 申请公布日期 | 2007.09.19 |
| 申请号 | CN200620098191.0 | 申请日期 | 2006.07.31 |
| 申请人 | 华中科技大学 | 发明人 | 曾晓雁;李祥友;王泽敏;李金洪;王小宝;曹宇 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/768(2006.01);H01L21/288(2006.01);H01L21/3205(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 华中科技大学专利中心 | 代理人 | 曹葆青 |
| 主权项 | 1、一种直写电子/光电子元器件的微细笔，其特征在于：减压装置(2)位于笔帽(3)内，并与位于笔帽(3)顶部的施压气管(1)相连，笔帽(3)的下端与笔筒(6)的上端活动、密封连接构成储料腔(4)，储料腔(4)用于储存需要沉积的物料，笔筒(6)的下端为笔尖(7)。 | ||
| 地址 | 430074湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号 | ||