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发明名称
NANOMECHANICAL OSCILLATOR
摘要
申请公布号
EP1834400(A2)
申请公布日期
2007.09.19
申请号
EP20060733632
申请日期
2006.01.04
申请人
TRUSTEES OF BOSTON UNIVERSITY
发明人
MOHANTY, PRITIRAJ;GAIDARZHY, ALEXEI;ZOLFAGHARKHANI, GUITI;BADZEY, ROBERT, I.
分类号
H02N2/00;B32B5/16;G01P15/08;H01L27/10;H01L41/08
主分类号
H02N2/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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