发明名称 NANOMECHANICAL OSCILLATOR
摘要
申请公布号 EP1834400(A2) 申请公布日期 2007.09.19
申请号 EP20060733632 申请日期 2006.01.04
申请人 TRUSTEES OF BOSTON UNIVERSITY 发明人 MOHANTY, PRITIRAJ;GAIDARZHY, ALEXEI;ZOLFAGHARKHANI, GUITI;BADZEY, ROBERT, I.
分类号 H02N2/00;B32B5/16;G01P15/08;H01L27/10;H01L41/08 主分类号 H02N2/00
代理机构 代理人
主权项
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