| 发明名称 | 轴承装置、载台装置及曝光装置 | ||
| 摘要 | 一种轴承装置，可确保充分的移动行程而无需连接供气用的管路等。该轴承装置具有包括衬垫部(73)的移动体(3)和固定体(2)。向衬垫部(73)供给介质来将移动体(3)可自由移动地支承在固定体(2)上。该轴承装置具有：设置于固定体(2)且供给前述介质的供给部(5)；联络供给部(5)和衬垫部(73)的联络部(75)；相应于移动体(3)相对固定体(2)的位置来开闭联络部(75)的开闭装置(6)。 | ||
| 申请公布号 | CN101040126A | 申请公布日期 | 2007.09.19 |
| 申请号 | CN200580035291.7 | 申请日期 | 2005.10.07 |
| 申请人 | 株式会社尼康 | 发明人 | 荒井大 |
| 分类号 | F16C32/06(2006.01);F16C29/02(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | F16C32/06(2006.01) |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 雒运朴;徐谦 |
| 主权项 | 1.一种轴承装置，具有包括衬垫部的移动体和固定体，且向前述衬垫部供给介质来将前述移动体可自由移动地支承在前述固定体上，该轴承装置的特征在于，具有：设置于前述固定体且供给前述介质的供给部；联络前述供给部和前述衬垫部的联络部；相应于前述移动体相对前述固定体的位置来开闭前述联络部的开闭装置。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||