发明名称 |
Nest for dicing, and method for cutting tapeless substrate using the same |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0942458(B1) |
申请公布日期 |
2007.09.19 |
申请号 |
EP19990301715 |
申请日期 |
1999.03.08 |
申请人 |
TOWA CORPORATION |
发明人 |
TIEBER, ALOIS;SAIKI, KIYOTERU |
分类号 |
H01L21/00;B28D5/00;H01L21/301;H01L21/304;H01L21/673;H01L21/78 |
主分类号 |
H01L21/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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