发明名称 Nest for dicing, and method for cutting tapeless substrate using the same
摘要
申请公布号 EP0942458(B1) 申请公布日期 2007.09.19
申请号 EP19990301715 申请日期 1999.03.08
申请人 TOWA CORPORATION 发明人 TIEBER, ALOIS;SAIKI, KIYOTERU
分类号 H01L21/00;B28D5/00;H01L21/301;H01L21/304;H01L21/673;H01L21/78 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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