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发明名称 STABILIZED, NON-AQUEOUS CLEANING COMPOSITIONS FOR MICROELECTRONICS SUBSTRATES
摘要
申请公布号 CA2642445(A1) 申请公布日期 2007.08.30
申请号 CA20072642445 申请日期 2007.01.31
申请人 MALLINCKRODT BAKER, INC. 发明人 KANE, SEAN M.
分类号 C11D7/06;C11D7/32;C11D7/34;C11D7/50;G03F7/42;H01L21/02 主分类号 C11D7/06
代理机构 代理人
主权项
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