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发明名称 DISPLACEMENT DEVICE
摘要
申请公布号 EP1135846(B1) 申请公布日期 2007.07.18
申请号 EP20000958454 申请日期 2000.08.15
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.;ASM LITHOGRAPHY B.V. 发明人 FRISSEN, PETRUS, C., M.;COMPTER, JOHAN, C.;PEIJNENBURG, ANTONIUS, T., A.;LOOPSTRA, ERIK, R.
分类号 G12B5/00;H02K41/03;G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G12B5/00
代理机构 代理人
主权项
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