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发明名称 IMPROVING ADHESION AND MINIMIZING OXIDATION ON ELECTROLESS CO ALLOY FILMS FOR INTEGRATION WITH LOW K INTER-METAL DIELECTRIC AND ETCH STEO
摘要
申请公布号 KR20070045986(A) 申请公布日期 2007.05.02
申请号 KR20060104898 申请日期 2006.10.27
申请人 APPLIED MATERIALS INC. 发明人 FANG HONGBIN;WEIDMAN TIMOTHY;MEI FANG;WANG YAXIN;SHANMUGASUNDRAM ARULKUMAR;BENCHER CHRISTOPHER D.;NAIK MEHUL
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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