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发明名称
SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号
EP1117125(A4)
申请公布日期
2007.05.02
申请号
EP19980944234
申请日期
1998.09.25
申请人
HITACHI, LTD.
发明人
SAWAHATA, TETSUYA;SATO, MITSUGU;OSE, YOICHI
分类号
H01J37/244;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/244
主分类号
H01J37/244
代理机构
代理人
主权项
地址
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