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发明名称 METHOD FOR MEASURING A NUMBER OF WAFER AND WAFER ARRANGEMENT USING IMAGE RECOGNITION SYSTEM IN A SEMICONDUCTOR FABRICATION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20070041654(A) 申请公布日期 2007.04.19
申请号 KR20050097264 申请日期 2005.10.15
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, KYOUNG HWAN
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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