发明名称 Verfahren zur Herstellung von MOS-FET-Halbleiterelementen
摘要
申请公布号 DE19929239(B4) 申请公布日期 2007.04.19
申请号 DE1999129239 申请日期 1999.06.25
申请人 SIEMENS AG 发明人 STROBL, PETER
分类号 H01L21/336;H01L21/311;H01L21/768 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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