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发明名称 GAP-FILL METHOD USING HIGH DENSITY PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20070041650(A) 申请公布日期 2007.04.19
申请号 KR20050097252 申请日期 2005.10.15
申请人 JUSUNG ENGINEERING CO., LTD. 发明人 HAN, JEUNG HOON;KANG, DAE BONG
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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