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发明名称 RHODIUM-REICHE SAUERSTOFFBARRIEREN
摘要
申请公布号 DE60216241(T2) 申请公布日期 2007.04.19
申请号 DE20026016241T 申请日期 2002.02.11
申请人 MICRON TECHNOLOGY INC. 发明人 YANG, HAINING;GEALY, DAN;SANDHU, S.;RHODES, HOWARD;VISOKAY, MARK
分类号 C23C16/18;H01L21/02;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/8242;H01L27/108 主分类号 C23C16/18
代理机构 代理人
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