| 发明名称 |
Linienbreitenausgleich unter Verwendung räumlicher Variationen der Teilkohärenz |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE60127036(D1) |
申请公布日期 |
2007.04.19 |
| 申请号 |
DE20016027036 |
申请日期 |
2001.06.20 |
| 申请人 |
ASML HOLDING, N.V. |
发明人 |
MCCULLOUGH, ANDREW W.;GALLATIN, GREGG M. |
| 分类号 |
G02B5/18;G03F7/20;G02B3/00;G02B3/04;G02B19/00;H01L21/027 |
主分类号 |
G02B5/18 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
