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经营范围
发明名称
Elektrochemische Abscheidung von Metallen in Halbleiteranordnungen
摘要
申请公布号
DE69837251(D1)
申请公布日期
2007.04.19
申请号
DE19986037251
申请日期
1998.12.29
申请人
STMICROELECTRONICS S.A.;COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
发明人
MOUSSAVI, MEHDI;MORAND, YVES
分类号
H01L21/768;H01L21/288
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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