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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING DEFECT REMOVED EPITAXY FILM USING METAL FILLING
摘要
申请公布号 KR100711521(B1) 申请公布日期 2007.04.19
申请号 KR20050125897 申请日期 2005.12.20
申请人 KOREA ELECTRO TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE 发明人 BANG, WOOK;KIM, NAM KYUN;KIM, HYUNG WOO;KIM, SANG CHEOL;SEO, GIL SU;KANG, IN HO;KIM, KI HYUN
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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