| 摘要 |
Eine Sensorbefestigungsstruktur enthält ein Schallempfangselement (25), welches Ultraschall empfängt, und einen Ultraschallsensor (10), welcher an dem Schallempfangselement befestigt ist. Der Ultraschallsensor enthält ein Halbleitersubstrat (11) mit einander gegenüberliegenden ersten und zweiten Oberflächen und einem Substrataussparungsabschnitt (13), welcher von der ersten Oberfläche des Halbleitersubstrats aus eine Aussparung bildet, um eine Membran (12) in dem Halbleitersubstrat zu formen. Des Weiteren ist ein Kappenelement (30) zwischen dem Schallempfangselement und dem Halbleitersubstrat gelegen, um die zweite Oberfläche des Halbleitersubstrats zu bedecken. Darüber hinaus bildet das Kappenelement eine auf das Schallempfangselement gebondete bzw. damit verbundene erste Oberfläche und eine zweite Oberfläche, welche auf die zweite Oberfläche des Halbleitersubstrats an einem äußeren Randabschnitt der Membran gebondet bzw. damit verbunden ist, während ein Zwischenraum (31) zwischen dem Kappenelement und der Membran gebildet ist.
|
