Halbleiterbauteil mit Medienkanal und Verfahren zur Herstellung desselben

摘要

Die Erfindung betrifft ein Halbleiterbauteil (1, 2) mit Medienkanal (3) und ein Verfahren zur Herstellung desselben, wobei das Halbleiterbauteil (1, 2) mindestens folgende Komponenten aufweist, einen Halbleiterchip (4) auf einem Verdrahtungssubstrat (5), elektrische Verbindungselemente (6) zwischen dem Halbleiterchip (4) und dem Verdrahtungssubstrat (5), und eine diese Komponenten einbettende Kunststoffgehäusemasse (7). Der Medienkanal (3) ist in die Kunststoffmasse eingeprägt und erstreckt sich entlang den Grenzflächen zwischen Kunststoffgehäusemasse (7) und den Komponenten. Um den Medienkanal (3) herzustellen, wird ein Opferpolymer (22), das die Medienkanalstruktur (21) aufweist, vor dem Einbetten der Komponenten auf diese aufgebracht und nach dem Einbetten zersetzt, so dass sich die Medienkanalstruktur (21) ausbildet.