发明名称 Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterspeichers
摘要
申请公布号 DE10014315(B4) 申请公布日期 2006.12.21
申请号 DE20001014315 申请日期 2000.03.23
申请人 SHARP K.K. 发明人 YAMAZAKI, SHINOBU;ISHIHARA, KAZUYA;MIYOSHI, TETSU;KUDO, JUN
分类号 H01L21/8242;H01L27/105;H01L21/02;H01L21/285;H01L21/321;H01L21/8246 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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