应用腐蚀液的超声波辅助蚀刻

摘要

本发明公开了一种用于化学蚀刻工件的超声蚀刻装置。该装置包括：至少部分地填充有水溶液的外槽；至少局部设置在外槽内并与水溶液接触的内槽，内槽中至少部分地填充有蚀刻溶液；与内槽口啮合的盖；与外槽连接以将超声波能量传递给内槽中的蚀刻溶液的超声换能器。而且，本发明公开了采用该装置蚀刻工件的多个方法。

主权项

1、一种用于化学蚀刻工件的超声蚀刻装置，所述装置包括：外槽，至少局部填充有水溶液；内槽，包括耐化学腐蚀的聚合物并且至少局部设置于所述外槽内并与水溶液接触，所述内槽中至少部分地填充有1公升的蚀刻溶液，所述蚀刻溶液具有至少为10％wt的总酸度或者总碱度，并且所述内槽至少具有侧壁、底部以及限定一上口，并且所述上口可以接纳工件；盖，与所述内槽口啮合，其中所述盖的重量在所述内槽口和所述盖下表面之间产生至少局部的密封以提高蚀刻溶液上方的局部压力；以及超声换能器，与所述外槽耦接以将超声波能量传递给所述内槽中的蚀刻溶液。