可溶物质的淀积

摘要

本发明提供了一种利用喷墨头(10)将有机聚合物之类的可溶材料淀积到衬底(14)上的方法和装置。在将有机聚合物液滴淀积到堤结构内设置的池中的过程中，利用CCD显微镜(22)从下侧观察衬底。由于是在有机聚合物液滴处于湿润状态时观察液滴的，因此液滴更加清晰可见，利用所测得的淀积液滴与池之间的任何偏移或偏差来重置支撑着衬底的台板。要用波长能让衬底透明的光来观察衬底，优选的是，所述光不包括波长在聚合物吸收区内的波长成分。

主权项

1.一种制造图案的方法，该方法包括：利用喷墨头将包括一材料淀积到衬底的第一表面上；检查淀积在第一表面上的液滴；所述液滴的检查是通过一种CCD检测器所进行，CCD检测器通过观察与第一表面相反的衬底第二表面来获得液滴图像。