发明名称 单体的制备方法
摘要 一种通过在生物体催化剂的存在下进行酯化或酯交换反应制备通式(1)表示的抗蚀剂单体的制备方法:∴(其中R<SUP>1</SUP>表示氢原子或任选取代的烷基;R<SUP>2</SUP>、R<SUP>3</SUP>和R<SUP>4</SUP>各自独立地表示氢原子或者取代基;X、Y和Z各自独立地表示直接的键或任选取代的C<SUB>1</SUB>-C<SUB>3</SUB>亚烷基)。
申请公布号 CN1291027C 申请公布日期 2006.12.20
申请号 CN02817888.2 申请日期 2002.09.11
申请人 三菱丽阳株式会社 发明人 佐藤荣治;金子真;村田直志
分类号 C12P17/04(2006.01);G03F7/039(2006.01) 主分类号 C12P17/04(2006.01)
代理机构 北京市中咨律师事务所 代理人 段承恩;陈海红
主权项 1.在选自酯酶、脂酶、蛋白酶、酰胺酶及具有上述酶催化能力的微生物的生物体催化剂的存在下,使通式(2)表示的化合物:<img file="C028178880002C1.GIF" wi="633" he="288" />R<sup>2</sup>、R<sup>3</sup>、R<sup>4</sup>各自独立地表示氢原子或取代基,所述取代基选自碳原子数为1~4的烷基;碳原子数2~4的链烯基;碳原子数2~6的链炔基;碳原子数1~4的烷氧基;碳原子数1~4的烷硫基;碳原子数1~7的酰氨基;氰基;碳原子数1~4的酰基;碳原子数2~4的烷氧羰基;芳烷基;含有碳原子数1~4的烷基的氨基;硝基;以及巯基或其衍生化的取代基;上述这些取代基任选可被卤素取代;X和Y各自独立地表示直接的键,或任选取代的C<sub>1</sub>-C<sub>3</sub>亚烷基,所述取代基选自碳原子数1~4的烷基;碳原子数2~4的链烯基;碳原子数2~6的链炔基;碳原子数1~4的烷氧基;碳原子数1~4的烷硫基;碳原子数1~7的酰氨基;氰基;碳原子数1~4的酰基;碳原子数2~4的烷氧羰基;芳烷基;含有碳原子数1~4的烷基的氨基;硝基;以及巯基或其衍生化的取代基;上述取代基任选可被卤素取代;Z表示直接的键,或取代的C<sub>1</sub>的亚烷基,所述取代基选自碳原子数1~4的烷基;碳原子数2~4的链烯基;碳原子数2~6的炔基;碳原子数1~4的烷氧基;碳原子数1~4的烷硫基;碳原子数1~7的酰氨基;氰基;碳原子数1~4的酰基;碳原子数2~4的烷氧羰基;芳烷基;含有碳原子数1~4的烷基的氨基;硝基;以及巯基或其衍生化的取代基;上述这些取代基任选可被卤素取代;与通式(3)表示的化合物反应:<img file="C028178880003C1.GIF" wi="451" he="210" />R<sup>1</sup>表示氢原子或者任选被卤素取代的碳原子数为1~4的烷基,R<sup>5</sup>表示氢原子或取代基,所述取代基选自碳原子数1~6的烷基;碳原子数2~6的链烯基;碳原子数2~6的炔基;芳烷基;上述这些取代基任选可被碳原子数1~4的烷氧基、碳原子数1~4的烷硫基、碳原子数1~4的酰氨基、碳原子数1~4的酰基、氰基取代;通过进行酯化或酯交换反应,制备通式(1)表示的抗蚀剂用单体的方法:<img file="C028178880003C2.GIF" wi="776" he="315" />R<sup>1</sup>、R<sup>2</sup>、R<sup>3</sup>、R<sup>4</sup>、X、Y和Z与上述定义相同。
地址 日本东京都