发明名称 |
辐射敏感的树脂组合物 |
摘要 |
一种辐射敏感树脂组合物,该组合物包含:(A)具有不饱和基团的碱溶性树脂,(B)具有至少一个烯键不饱和双键的化合物和(C)辐射诱导的自由基聚合反应引发剂,其中:具有不饱和基团的碱溶性树脂(A)可通过下面反应获得:100重量份共聚物与0.1-20重量份(d)具有环氧基团的可自由基聚合化合物反应,所述共聚物包含下列单元:1-40重量%来自(a)具有羧基的可自由基聚合化合物的结构单元,和1-50重量%具有酚羟基的结构单元,所述结构单元来自(b-1)具有酚羟基的可自由基聚合化合物或(b-2)具有聚合反应后可转化为酚羟基的官能团的可自由基聚合化物,来源另一可自由基聚合化合物(c)的所述共聚物的其他结构单元。 |
申请公布号 |
CN1291278C |
申请公布日期 |
2006.12.20 |
申请号 |
CN02810029.8 |
申请日期 |
2002.12.13 |
申请人 |
捷时雅株式会社 |
发明人 |
岩永伸一郎;岩本聪;木村徹;西村洋子;西川耕二 |
分类号 |
G03F7/027(2006.01);H01L21/288(2006.01);H05K3/00(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/027(2006.01) |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 |
代理人 |
周承泽 |
主权项 |
1.一种辐射敏感树脂组合物,该组合物包含:(A)具有不饱和基团的碱溶性树脂,(B)具有至少一个烯键不饱和双键的化合物和(C)辐射诱导的自由基聚合反应引发剂,其中:具有不饱和基团的碱溶性树脂(A)通过下面反应获得:(I)100重量份的具有羧基的共聚物与(II)0.1-20重量份(d)具有环氧基团的可自由基聚合化合物反应,所述具有羧基的共聚物包含下列单元:1-40重量%来自(a)具有羧基的可自由基聚合化合物的具有羧基的结构单元,和1-50重量%具有酚羟基的结构单元,所述结构单元来自(b-1)具有酚羟基的可自由基聚合化合物或(b-2)具有聚合反应后可转化为酚羟基的官能团的可自由基聚合化合物,来自除化合物(a)、(b-1)、(b-2)和上面化合物(d)外的可自由基聚合化合物(c)的所述共聚物的其他结构单元。 |
地址 |
日本东京 |