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发明名称 REMOTE CHAMBER METHODS FOR REMOVING SURFACE DEPOSITS
摘要
申请公布号 EP1733072(A2) 申请公布日期 2006.12.20
申请号 EP20050760380 申请日期 2005.03.24
申请人 MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY 发明人 SAWIN, HERBERT, HAROLD;BAI, BO
分类号 H01L21/00;C23C16/44;B08B7/00;C23F4/00;H01J37/32 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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