发明名称 A METHOD OF FORMING ULTRAFINE-GRAIN-COPPER-BASE SPUTTER TARGETS
摘要
申请公布号 IL176510(D0) 申请公布日期 2006.10.05
申请号 IL20030176510 申请日期 2003.07.17
申请人 PRAXAIR S.T. TECHNOLOGY, INC. 发明人
分类号 C22F;C22F1/00;C22F1/08;C23C14/34 主分类号 C22F
代理机构 代理人
主权项
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