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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung
摘要
申请公布号 DE69434695(T2) 申请公布日期 2006.10.05
申请号 DE19946034695T 申请日期 1994.01.25
申请人 FUJITSU LTD. 发明人 KAWAMURA, SHOUICHI;TAKASHINA, NOBUAKI;KASA, YASUSHI;ITANO, KIYOSHI
分类号 H01L21/8247;H01L27/00;G11C16/04;G11C16/14;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
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