| 发明名称 |
CLEANING SOLUTION FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL136287(A) |
申请公布日期 |
2006.10.05 |
| 申请号 |
IL19990136287 |
申请日期 |
1999.02.18 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORPORATION;JOHN M. DE LARIOS;YUEXING ZHAO;XU LI;DIANE J. HYMES |
发明人 |
JOHN M. DE LARIOS;YUEXING ZHAO;XU LI;DIANE J. HYMES |
| 分类号 |
C11D1/00;C09K13/00;C09K13/06;C09K13/08;C11D3/02;C11D7/02;C11D7/04;C11D7/08;C11D7/26;C11D11/00;C23G1/10;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/3205;H01L21/321 |
主分类号 |
C11D1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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