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发明名称 PLASMA PROCESSING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR100590257(B1) 申请公布日期 2006.06.15
申请号 KR20020056913 申请日期 2002.09.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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