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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER FÜR DISSOZIATION AUSGELEGTEN BELASTETEN STRUKTUR
摘要
申请公布号 AT325429(T) 申请公布日期 2006.06.15
申请号 AT20030815088T 申请日期 2003.12.08
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 FOURNEL, FRANCK;MORICEAU, HUBERT;LAGAHE, CHRISTELLE
分类号 H01L21/304;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762;H01L21/20 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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