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发明名称
Micro optical bench structure and method of manufacturing the same
摘要
申请公布号
KR100590534(B1)
申请公布日期
2006.06.15
申请号
KR20040002927
申请日期
2004.01.15
申请人
发明人
分类号
H01L31/12
主分类号
H01L31/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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