发明名称 Micro optical bench structure and method of manufacturing the same
摘要
申请公布号 KR100590534(B1) 申请公布日期 2006.06.15
申请号 KR20040002927 申请日期 2004.01.15
申请人 发明人
分类号 H01L31/12 主分类号 H01L31/12
代理机构 代理人
主权项
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