发明名称 |
METHOD FOR REDUCING THE SUBSTRATE DEPENDENCE OF A RESIST COMPOSITION FOR A SPECIAL SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
KR100592200(B1) |
申请公布日期 |
2006.06.15 |
申请号 |
KR20030045994 |
申请日期 |
2003.07.08 |
申请人 |
WAKO PURE CHEMICAL INDUSTRIES LTD. |
发明人 |
FUJIE HIROTOSHI;SOUKI TOHRU;UEHARA YUKIKO |
分类号 |
G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039 |
主分类号 |
G03F7/004 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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