发明名称 |
具有复合式衬垫的浅沟渠隔离组件的形成方法 |
摘要 |
本发明提供一种具有复合式衬垫的浅沟渠隔离组件的形成方法,它是在一半导体基底表面形成一垫氧化层与氮化硅掩膜层后,利用刻蚀技术形成浅沟渠,再在浅沟渠内表面依序沉积一氮化硅层及一原位蒸气产生(ISSG)氧化层,最后在浅沟渠中填满一层氧化物,以形成浅沟渠隔离组件。本发明的方法是可解决凹陷现象的问题,减少扭曲效应的产生,并以此增进组件电性。 |
申请公布号 |
CN1787203A |
申请公布日期 |
2006.06.14 |
申请号 |
CN200410089391.5 |
申请日期 |
2004.12.10 |
申请人 |
上海宏力半导体制造有限公司 |
发明人 |
江瑞星;马惠平 |
分类号 |
H01L21/76(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/76(2006.01) |
代理机构 |
上海光华专利事务所 |
代理人 |
余明伟 |
主权项 |
1、一种具有复合式衬垫的浅沟渠隔离组件的形成方法,其硅包括下列步骤:提供一半导体基底,其上是依序沉积一垫氧化层与一氮化硅掩膜层;在该基底表面形成一图案化光阻层;以该图案化光阻层为掩膜,刻蚀该氮化硅掩膜层、垫氧化层与该基底,以形成浅沟渠,而后去除该图案化光阻层;在该半导体基底上形成一氮化硅层,使其覆盖该浅沟渠的表面;利用原位蒸气产生(ISSG)氧化技术,形成一ISSG氧化层覆盖在该浅沟渠内的该氮化硅层表面;以及形成一层氧化物在该半导体基底上,使其填满该浅沟渠,而后去除该半导体基底表面多余的该氧化物、该氮化硅层、氮化硅掩膜层与该垫氧化层,以形成浅沟渠隔离组件。 |
地址 |
201203上海市浦东新区张江高科技园区郭守敬路818号 |