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经营范围
发明名称
WAFER DE-CHUCKING METHOD
摘要
申请公布号
KR20060065766(A)
申请公布日期
2006.06.14
申请号
KR20040104169
申请日期
2004.12.10
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
JUNG, YOON SANG;KIM, TAEG KON;JANG, KI JOONG;JUNG, JIN SU;CHOI, JAE SUN
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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