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发明名称 VACUUM ULTRAVIOLET REFERENCING REFLECTOMETER
摘要
申请公布号 EP1668342(A1) 申请公布日期 2006.06.14
申请号 EP20040784655 申请日期 2004.09.21
申请人 METROSOL, INC. 发明人 HARRISON, DALE A.
分类号 G01J3/28;G01J3/08;G01J3/36;G01J3/42;G01N3/28;G01N21/21;G01N21/27;G01N21/33;G01N21/47;G01N21/55;(IPC1-7):G01N3/28 主分类号 G01J3/28
代理机构 代理人
主权项
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