辐射敏感元件的显影增强

摘要

利用辐射源的阳性作用型辐射敏感组合物包括一种或多种能够溶解在碱性水溶液中的聚乙烯醇缩醛聚合物和增强显影能力的化合物。基于本发明组合物的辐射敏感涂层的光敏性得到增加，而没有损害处理特征。基于本发明组合物的辐射敏感元件具有良好显影宽容度。阳性作用型光刻印刷前体基于涂覆在亲水表面上的辐射敏感组合物。可使用碱性水溶液显影该前体，并且在光刻印刷应用中可利用辐射源来使用，例如常规成像系统、计算机制版系统或其它直接成像应用中。在曝光之前，该前体处于稳定的状态，并且具有优异的处理性能。

主权项

1.一种辐射敏感组合物，其包括：a.通过聚乙烯醇与醛缩合而获得的缩醛树脂，以及b.增强显影能力的化合物。