一种测热式微型流量传感器

摘要

本发明公开了一种测热式微型流量传感器。在单晶硅衬底上，自下至上依次设有二氧化硅绝热膜、含有加热元件和热电堆半导体电极构成的单晶硅膜、二氧化硅隔离层，热电堆金属电极、金属连线和焊点，氮化硅膜；或在单晶硅衬底中间填充有硅胶填充物；或在中间填充有硅胶填充物的单晶硅衬底上面设有热电堆半导体电极和加热元件，热电堆半导体电极从自下至上依次设有二氧化硅隔离层，热电堆金属电极、金属连线和焊点，氮化硅膜。将传感器放在流道中，加热元件供电后产生热量，位于两侧的热电堆分别输出由各自所测量的流场范围内的温度分布差异而产生的电压信号，将两个电压信号相减后作为最终输出的电压信号，由此实现测热式流量测量。

主权项

1、一种测热式微型流量传感器，其特征在于：在单晶硅衬底(9)上，自下至上依次设有二氧化硅绝热膜(8)、含有加热元件(4)和三个以上热电堆半导体电极(3.2)构成的单晶硅膜(7)、二氧化硅隔离层(5)，热电堆金属电极(3.1)、金属连线(2)和焊点(1)，氮化硅膜(6)。