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发明名称 A method of and apparatus for testing for integrated circuit contact defects
摘要
申请公布号 GB2394780(B) 申请公布日期 2006.06.14
申请号 GB20020025174 申请日期 2002.10.29
申请人 IFR LIMITED 发明人 RICHARD JOHN PAYMAN
分类号 G01R31/04;G01R27/20;G01R31/316 主分类号 G01R31/04
代理机构 代理人
主权项
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