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发明名称 ELECTRON BEAM TRANSFER LITHOGRAPHY EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPS631033(A) 申请公布日期 1988.01.06
申请号 JP19860142919 申请日期 1986.06.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YASUDA HIROSHI;KOBAYASHI KOICHI
分类号 H01L21/027;H01L21/30 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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