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发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPS6313323(A) 申请公布日期 1988.01.20
申请号 JP19860156099 申请日期 1986.07.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 YOKOYAMA NATSUKI;HONMA YOSHIO;NISHIDA TAKASHI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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