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发明名称 PRODUCTION OF TARGET FOR SPUTTERING
摘要
申请公布号 JPS6333174(A) 申请公布日期 1988.02.12
申请号 JP19860174944 申请日期 1986.07.25
申请人 TANAKA KIKINZOKU KOGYO KK 发明人 KEZUKA HIROYUKI
分类号 B23K1/00;B23K1/20;C23C14/34 主分类号 B23K1/00
代理机构 代理人
主权项
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