发明名称 CLEAN ROOM OF BOX-CONTROLLED AND PATTERN CLEANING TYPE
摘要
申请公布号 JPS6346329(A) 申请公布日期 1988.02.27
申请号 JP19860191038 申请日期 1986.08.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 KODAMA MIDORI;KOBAYASHI AKIMINE;IINO TOSHIYOSHI;IKEGAWA MASATO
分类号 F24F7/06 主分类号 F24F7/06
代理机构 代理人
主权项
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