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发明名称 DICING METHOD
摘要
申请公布号 JPS6372508(A) 申请公布日期 1988.04.02
申请号 JP19860215923 申请日期 1986.09.16
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAKADA TAKEAKI
分类号 H01L21/301;B28D5/00;H01L21/78 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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