液相磊晶成长船

主权项

1.一种液相磊晶成长时,其系以高纯度 石英烧制而成,其特征在于一溶液槽 上置一滑板,该滑板上并设一承载基 板之容器,并以螺丝与溶液槽锁固, 前述之承载基板之容器上套有一石墨 制成之石墨衬套,而可用来成长磷化镓 红色发光二极体磊晶晶片,且构造简 单,适合大量生产者。2.依请求专利部份第1.项所 述之液相磊 晶成长船,外加一石墨衬套,套合于 承载基板之容器外,增加同一批产品 之均匀性,并可提高产率。