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发明名称
摘要
申请公布号
JPS63115222(U)
申请公布日期
1988.07.25
申请号
JP19870007349U
申请日期
1987.01.21
申请人
发明人
分类号
H01L21/66;H01L21/301;H01L21/78;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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